碳化硅的超細粉碎設備主要有攪拌磨機、氣流磨機、振動(dòng)磨機及球磨機等。傳統的球磨機應用較早，設備穩定性好，但效率低，能耗大，增加了分級難度。振動(dòng)磨機粉碎效果還可以，但其能耗較高，工作時(shí)噪音大，細磨碳化硅這樣的硬質(zhì)材料時(shí)設備磨損嚴重，氣流磨機生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)能力小。